三協電精株式会社

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KF（Klein　Flange）規格(NWフランジ)
真空分野での低真空から高真空領域で使用されている配管・継手部品から構成されます。
同じサイズのフランジ間に封止するためのOリングをつけてクランプで締め付けることで真空を保つことができます。
ISO規格
1.　クロー締めタイプ（ツメ状の形をしており上下からフランジを挟んで締めるタイプ）
2.　ボルト締めタイプ（ボルト/ナットで構成され上下から締めこむタイプ）
耐真空度は1×10-6Pa、耐ベーキング温度は200℃まで使用可能です。
CF（Conflat　Flange）規格（ICFフランジ）
真空側に彫られた尖ったミゾ（ナイフエッジ）に無酸素銅ガスケットを入れて相手のフランジと挟み込みボルトでフランジを締め込むことにより高い真空度を保つことができます。
耐真空度は1×10-10Pa、耐ベーキング温度は最大450℃まで可能です。